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          資料詳情 TECHNICAL

          真空鍍膜設備維護和保養

           發表時間:2022-12-16

                 真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空離子蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

           

           

                真空鍍膜設備維護和保養

                 1.真空鍍膜設備每次完成200道以上的鍍膜工序,應清潔工作間一次。

                  方法是:用飽和苛性鈉溶液(NaOH)反復擦洗真空室壁(注意,人體皮膚不能直接接觸苛性鈉,以避免燒傷)。目的是使涂膜材料鋁(AL)與NaOH反應,反應后膜層脫落并釋放氫氣。然后用清水清潔真空室,并用蘸有汽油的布清潔精抽閥中的污垢。

                  2.當粗抽泵(滑閥泵和旋片泵)連續工作一個月(雨季半個月)時,需要更換新油。

                  方法是:擰松開油螺栓,排出舊油,然后啟動泵幾秒鐘,將泵內的舊油完全排出。擰回油螺栓,并添加新油至規定量(用機油觀察鏡觀察)。連續使用半年以上,換油時應打開油蓋,用布擦拭箱內污垢。

                  3、擴散泵連續使用6個月以上,泵速明顯慢或操作不當。充入大氣,拆下連接水管,拆下電爐板,擰出一次噴嘴,用汽油清洗泵腔和泵膽,然后用洗衣粉清洗泵膽,再用水徹底清洗底部。水揮發后,裝上泵膽,加入新的擴散泵油,裝回機體,連接水管,裝上電爐板,即可重新啟動。重啟前注意泄漏檢測。

                  方法是:啟動維護泵,關閉閘門,幾分鐘后觀察擴散泵真空度是否達到6x10pa,或進行泄漏檢測。檢查密封橡膠圈是否安裝在接頭處或密封圈是否損壞。只有在消除潛在的空氣泄漏后才能進行加熱,否則擴散泵油會燒壞環,無法進入工作狀態。

           

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