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          資料詳情 TECHNICAL

          渦輪分子泵優點分析

           發表時間:2022-12-19

                 渦輪分子泵優點

                 1、優點

                 由于渦輪分子泵在某些方面,要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現得更優越。故在一般情況下,多選用渦輪分子泵。它的優點有:

                 (1)清潔,無油蒸汽返流

                 渦輪分子泵清理能超強是大眾對渦輪分子泵的基本了解,按操作規程工作,就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環境,且不含有任何碳氫化合物。

                  (2)使用方便

                  在許多應用中,渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥,只是簡單地一按電鈕,泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統可以通過渦輪分子泵進行粗抽,可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、閥門控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統所占的空間小,而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制,可在任意方向安裝(用油潤滑的泵除外,它只能在垂直 5 范圍內工作)。這個特點,可用于安裝位置受限制的地方。

                 (3)氣體輸送能力強

                 大多數渦輪分子泵對于輸送輕氣體(如氫、氨)的能力很強,因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程,氨質譜檢漏儀等場合均可得到應用。

                 有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵,適用于刻蝕、反應離子刻蝕,離子束加工,低壓化學氣相沉積,外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中,抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵,被抽氣體可穿膛而過,不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等

                 (4)適于超高真空應用

                 一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵,配以性能良好的雙級旋片泵(或同樣性能的千式前級泵),其極限真空度一般可達到10- 9~10- 10Torr(即 133.3~13.33 nPa)之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵,用金屬密封并除氣良好的泵,一般其極限壓力在110-10~110-11 Torr (即13.33~1.333 nPa)之間,而且不像低溫泵或離子泵那樣,渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性(測不到碳氫化合物)顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀,分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上。

                  (5)高壓力下性能良好

                 有些渦輪分子泵的入口壓力可在 10-1~10-3 Torr (即 13.33Pa~133.3 mPa)之間運行。在這個壓力范圍內,離子泵不能應用,對于低溫泵需要節流抽速或經常再生,對擴散泵的工作也會變得不穩定。

                  (6)循環的時間短

                 多數渦輪分子泵,尤其小一些的,要達到正常的運行速度的時間,一般需要 1~3 min。對于不同品種和型號的泵有所不同,并且能立即關閉,并可暴露大氣。這種快速循環特性在樣品輸入系統中很有用,尤其對手提式氨檢漏儀有用。

                 (7)正常使用時間長

                  在某些應用中,渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下,會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復,而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。

           

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