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          資料詳情 TECHNICAL

          渦輪分子泵缺點分析

           發表時間:2022-12-19

                  渦輪分子泵缺點

                  任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。下面介紹它存在的一些缺點。

                 (1)備費用高

                 在抽速大于1000 L/s 的渦輪分子泵要比擴散泵和低溫泵的設備投資大。然而渦輪分子泵在由于工藝氣體或其它原因而不能使用擴散泵和低溫泵的特殊場合下它是很好用的。若與小型或中型擴散泵相比,小渦輪分子泵是相當貴的。然而考慮到擴散泵系統需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等,總的花費來計算,二者的差別也就不大了,在某些情況下,渦輪分子泵還是便宜的選擇。

                 (2) 對顆粒物或沉積物敏感

                 若物體(螺釘、玻璃碎片、燈絲或硅片) 落入正在運轉的渦輪分子泵中,渦輪會遭到損壞,往往需返回制造廠進行維修。一旦出事故損壞就是嚴重的,不會有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見,在泵入口處裝上細孔眼的過濾網,以保護泵的正常運轉。這種措施對泵的有效抽速損失較大。敷在葉片上厚的沉積物,會造成對葉片的磨損和通道堵塞,也會影響轉子的不平衡。如果一些粒子進入軸承,造成磨損,能降低泵的工作壽命。因此在某些應用中,安裝保護措施是必要的。

                 (3)噪音與振動

                 從使用經驗來看,泵會出現振動和噪音問題,多半是軸承損壞和平衡性差所出現的問題。

                 在正常的工作中,泵處于平靜的狀態最大振幅在 0.1~0.001 m(即 1001nm)之間,在某些精密設備上得到應用。而測不出易覺察的振動。

                 (4)破碎問題

                 有些用戶由于害怕轉子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵,破碎是在泵正常運轉時,葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現破碎的。通常要有保護措施,如在入口處加過濾網,破碎通常是可以避免的。

                 (5) 暴露大氣易引起事故

                 任何高真空泵在運轉期間都會碰到這種事故。如規管破裂,入口處管道、閥門、密封出現問題,都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號的渦輪分子泵,耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞,但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。最好的辦法是廠家通過試驗得出結果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩,比渦輪分子泵的抵抗能力差,如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室,低溫泵要求再生等。

                 要想渦輪分子泵有較長的工作壽命和最佳的運轉性能,用戶一定要按操作規程和使用步驟進行。

           

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